1 真空泵與半導體行業(yè)

1.1 真空泵描述

真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空環(huán)境的裝置，根據(jù)真空等級所用的真空泵有所不同，不同真空泵所對應的驅(qū)動性能也有所不同。

1.2半導體真空泵市場及應用工藝

根據(jù)ISVT國際真空技術統(tǒng)計工作組的調(diào)查統(tǒng)計，2019年全球真空設備的市場規(guī)模約350億元，其中半導體用真空設備約135億元，占比約38%，是最大的應用領域，此外光伏領域的真空泵需求正快速增長。

半導體真空泵一般被用于半導體制造的多個工藝環(huán)節(jié)（圖2），占整個工藝的50%以上，其中干式真空泵可適用于半導體元件制造的整個工藝?？v觀全球市場，半導體真空泵行業(yè)高度集中，市場份額被一些主要的大公司占據(jù)。

1.3半導體真空泵結構干式真空泵結構如圖3所示，由兩臺變頻器帶兩臺同步或異步電機構成，功率一般為2.2~22KW，該結構中BP(BoosterPump/增壓泵)和DP(DryPump/干泵)是串聯(lián)的，在真空狀態(tài)下打開泄放閥時，通過調(diào)節(jié)DP的速度來調(diào)節(jié)BP的負載量。

2 S100真空泵專用化方案

LS電氣自2014年開始進行真空泵專用化變頻器產(chǎn)品開發(fā)，所涉及的真空泵設備已經(jīng)涵蓋到韓國，中國等各個國家各大半導體及面板制造廠家，用戶滿意度較高。

2.1LS電氣S100真空泵專用方案一

? 專用化背景

（1）實現(xiàn)半導體真空泵專用功能，多段防止失速、低速報警、限制時重啟、瞬間斷電重啟；

（2）通過具有競爭力的S100專用化解決方案搶占市場；

（3）目前真空泵設備用戶對高負載、小體積真空泵需求強烈，需要升級LS產(chǎn)電的S100變頻器產(chǎn)品，以應對市場新需求。

? 專用化內(nèi)容

（1）專用產(chǎn)品：    S100Finless 類型(2.2~4kW)，產(chǎn)品量產(chǎn)；

（2）專用化功能：多段防止失速、低速報警、堵轉(zhuǎn)重啟（異物去除）、低速過勵磁（同步電機）、KEB功能:扭矩模式運行、停止狀態(tài)DB運行、輸出電壓下降改善。

? 性能提升

（1）改進無傳感矢量算法；（2）改善電流檢測精度；

（3）改善KEB運行性能；

（4）提升Power計算精度。

? 應用案例

在韓國某客戶真空泵負載試驗時，速度恢復性能改善。

2.2LS電氣S100真空泵專用方案二

? 專用化背景

某真空泵公司由于尺寸及價格等問題需要4/7.5kW（200/400V）Finless類型的變頻器產(chǎn)品，LS電氣在原有的S100 4kW的基礎上擴充產(chǎn)品線到7.5kW。

? 專用化內(nèi)容

（1）專用產(chǎn)品：S100  Finless產(chǎn)品（容量：7.5kW-200/400V，1個框架，2種）；

（2）專用化功能：FinlessHeatsink（水冷式）和專用Body Cover開發(fā)。

在確保產(chǎn)品品質(zhì)的前提下縮短開發(fā)時間，維持S100IP66系列的PCBAss'y安裝結構不變，開發(fā)了1種HeatSink散熱器和1種Body Cover。

LS電氣S100系列變頻器在國內(nèi)外的真空泵設備上得到了廣泛應用，可使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下穩(wěn)定、高效、節(jié)能、可靠運行，并可向全球半導體真空泵客戶提供定制化的方案與服務。

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