基于宏微結(jié)合的設(shè)計思想，提出一種組合式微夾持器結(jié)構(gòu)．采用微直線電機(jī)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)毫米級的宏運(yùn)動，采用雙晶片壓電懸梁機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)微米級的微運(yùn)動．介紹組合式微夾持器的組成原理并對壓電懸梁形變特性進(jìn)行了有限元分析．在此基礎(chǔ)上，開發(fā)微夾持器宏微控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了微位移閉環(huán)控制．測試實(shí)驗(yàn)表明，該微夾持器具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作空間大、精度高的特點(diǎn)．[著者文摘]