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2.大行程實現(xiàn)納米定位
3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（50納米），定位精度（250納米）
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.抗爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性
1.實現(xiàn)大行程納米定位
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
6.8種行程和精度范圍可選
2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）
3.1納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
6.8種行程和精度范圍可選
1.大行程實現(xiàn)納米定位
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）
3.2納米的位置穩(wěn)定性
4.抗爬行十字交叉滾珠軸承
5.高動態(tài)特性
1.高分辨率（0.01角秒）
2.高性能
3.卓越的跳動指標(biāo)
4.卓越的定位性能
5.高動態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)
2.高性能
3.卓越的跳動指標(biāo)
4.卓越的定位性能
5.高動態(tài)特性
6.多軸結(jié)構(gòu)
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