

海德漢 LIF 400系列 超高精度增量式直線光柵尺
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LIF 400系列
超高精度增量式直線光柵尺
高精度直線軸,長度可達1640 mm
可根據要求提供更長測量長度的LIF 100
極小測量步距(<2 nm)
對污染不敏感
可提供高真空版
限位開關的位置檢測并配回零軌
接口:1 VPP,TTL

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