產品名稱： 晶圓片托架落座傳感器 產品介紹： 薄片載體的落座檢測 ■依靠與導槽并用，設定落座位置。 ■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學性能優(yōu)越。 ■在獨特的光學結構，幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。 ■采用強抗外部干擾光的變調光方式。 ■電線使用凈化電線（無粉塵）。 產品類別： 落座檢測