產(chǎn)品名稱： 晶圓片托架落座傳感器 產(chǎn)品介紹： 薄片載體的落座檢測 ■依靠與導(dǎo)槽并用，設(shè)定落座位置。 ■晶圓片托架的接觸面使用了氟素樹脂。防化學(xué)性能優(yōu)越。 ■在獨(dú)特的光學(xué)結(jié)構(gòu)，幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。 ■采用強(qiáng)抗外部干擾光的變調(diào)光方式。 ■電線使用凈化電線（無粉塵）。 產(chǎn)品類別： 落座檢測