詳細(xì)描述 1 、非接觸式測量：避免物件受損。 2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ——-200μm。 3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。 4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。 5、高速數(shù)字信號處理器：實(shí)現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。 6 、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。 7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。 8 、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。