編者按：業(yè)界最小的壓電式MEMS壓力傳感器研制成功，壓電式MEMS壓力傳感器可輕松實現(xiàn)小型化的原因是，可直接將隔膜的彎曲量當(dāng)作壓電電阻元件的電阻變化來捕獲，從而實現(xiàn)簡單的元件結(jié)構(gòu)。 阿爾卑斯電氣推出了業(yè)界最小的壓電式MEMS壓力傳感器。尺寸方面，壓力傳感器單個元件的小型型號為2.5mm×2.5mm×0.7mm。內(nèi)置放大器的型號為3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用于檢測氣壓及高度等絕對壓力。 壓力檢測的原理如下。來自外部的壓力會使壓力傳感器的隔膜彎曲。如果隔膜彎曲，在隔膜上形成的壓電電阻元件就會變形。這樣一來，就可以將變形產(chǎn)生的電阻變化作為電壓信號讀取出來。 壓電式MEMS壓力傳感器可輕松實現(xiàn)小型化的原因是，可直接將隔膜的彎曲量當(dāng)作壓電電阻元件的電阻變化來捕獲，從而實現(xiàn)簡單的元件結(jié)構(gòu)。另外，通過采用薄膜工藝技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)及封裝技術(shù)，也可減小傳感器元件尺寸，使其達(dá)到業(yè)界最小。 阿爾卑斯電氣表示，通過采用以下3項技術(shù)，減小了壓力傳感器性能的不穩(wěn)定性。這3項技術(shù)分別為，通過優(yōu)化蝕刻條件，開發(fā)出了可形成穩(wěn)定腔體（Cavity）結(jié)構(gòu)的技術(shù);實現(xiàn)了可減小外應(yīng)力影響的Si-Si密封接合;采用了對溫度變化適應(yīng)性強(qiáng)的陶瓷材料。