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TONiC™ RSLM直線光柵系統(tǒng)
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RSLM不銹鋼柵尺的性能可與小柵距玻璃光柵相媲美，長度范圍卻遠超后者，可達10 m。RSLM的整體精度（包括斜率誤差和線性誤差）在5 m的情況下可達±4 µm — 實現(xiàn)業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平！ RSLM可以方便的成卷存放，一旦展開，就可以像柵尺一樣使用。 與具有±30 nm超低周期誤差(電子細分誤差 - SDE)的柵尺結(jié)合在一起，RSLM是測量精度要求嚴格的長行程應(yīng)用場合的理想解決方案。
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