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永宏P(guān)LC在低溫等離子體處理儀應(yīng)用

時(shí)間:2010-08-13 14:36:38來(lái)源:xuliyuan

導(dǎo)語(yǔ):?主要是通過(guò)PLC輸控制真空電機(jī)的啟動(dòng)停止,同時(shí)通過(guò)模擬量輸出來(lái)控制比例閥的開(kāi)始量,通過(guò)模擬量輸入來(lái)采集真空度、進(jìn)氣流量。

一、設(shè)備簡(jiǎn)介

1、特點(diǎn):

■ 一鍵式操作,使用方便;
■ 腔體容積大,處理樣品數(shù)量多;
■ 離子濃度高,效率高;
■ 結(jié)構(gòu)緊湊,經(jīng)濟(jì)使用;
■ 放電均勻,裝卸料方便;
■ 微機(jī)自動(dòng)控制,操作方便;
■ 高性能參數(shù)控制元件,參數(shù)控制精度高,重復(fù)性好。                                             

2、應(yīng)用:

■ 表面清洗:如粘結(jié)前、錫焊前或電鍍前的表面處理;
■ 表面活化:如生物材料的表面修飾,印刷前、上漆前或粘結(jié)前的表面處理;
■ 表面刻蝕:如硅的微細(xì)加工、聚四氟乙烯件表面刻蝕處理;
■ 表面接枝:如材料表面特定基團(tuán)的產(chǎn)生和表面活化的固定,避免時(shí)效性;
■ 表面沉積:如疏水性或親水性層等的離子體聚合沉積。

  

二、系統(tǒng)架構(gòu)

主要產(chǎn)品功能規(guī)格

(1)控制器:永宏FBs-20MA主機(jī),12點(diǎn)DI,8點(diǎn)DO,繼電器輸出;FBS-B2A1D、FBS—4A2D;

(2)比例閥:PLC通過(guò)0-5V模擬量控制比例閥的開(kāi)始量;

(3)真空計(jì):儀表測(cè)出真空度同時(shí)輸出0—5V的非線性模擬量。

(4)人機(jī)界面:通過(guò)RS232以永宏協(xié)議與永宏P(guān)LC進(jìn)行通信。

系統(tǒng)結(jié)構(gòu): 

核心部分,永宏P(guān)LC作為控制器,承擔(dān)著信號(hào)采集、處理,輸出的任務(wù);

上位部分,人機(jī)介面通過(guò)port0與PLC通訊,可對(duì)設(shè)備進(jìn)行操及工作參數(shù)的調(diào)整,同時(shí)監(jiān)控當(dāng)前狀況;

下位部分,主要是通過(guò)PLC輸控制真空電機(jī)的啟動(dòng)停止,同時(shí)通過(guò)模擬量輸出來(lái)控制比例閥的開(kāi)始量,通過(guò)模擬量輸入來(lái)采集真空度、進(jìn)氣流量。

I/O配置

PLC輸入

功能說(shuō)明

PLC輸出

功能說(shuō)明

X0

反射超標(biāo)

Y0

真空電機(jī)

X1

緊停

Y1

 

X2

真空泵過(guò)載

Y2

總電磁閥

X3

 

Y3

排氣閥

X4

 

Y4

高頻電源開(kāi)關(guān)

X5

 

Y5

蜂鳴器

X6

 

Y6

單片機(jī)信號(hào)

X7

 

Y7

 

X8

 

 

 

X9

 

 

 

X10

 

 

 

X11

 

 

 

 

三、工作流程

 

   1、一遍處理程序:

  在觸摸屏上設(shè)定:處理功率、進(jìn)氣流量(兩路)、處理時(shí)間三個(gè)參數(shù)。

2、兩遍處理程序:

在觸摸屏上分別設(shè)定:

第一遍的處理參數(shù):處理功率、進(jìn)氣流量(兩路)、處理時(shí)間。

第一遍的處理參數(shù):處理功率、進(jìn)氣流量(兩路)、處理時(shí)間。

注:清洗參數(shù)與進(jìn)氣參數(shù)不一樣。

3、接枝管路清洗

在觸摸屏上選擇:“接枝管路清洗功能”,顯示清洗進(jìn)行的時(shí)間

四、結(jié)束語(yǔ)  

      永宏P(guān)LC以它的高精度、高穩(wěn)定性及超高的性?xún)r(jià)比,使其在實(shí)驗(yàn)設(shè)備中得到廣泛的應(yīng)用;此低溫等離子體處理儀使用永宏P(guān)LC作為控制核心,使其穩(wěn)定性及控制放電功率方面的精度有大大的提高。

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