電容式傳感器溫度穩(wěn)定性好,電容式傳感器的電容的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料；又因為電容器本身的損耗非常小，所以發(fā)熱很??；因此，傳感器具有良好的零點穩(wěn)定性，由于自身發(fā)熱而引起的零漂可以認為是不存在的。
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單、適應(yīng)性強。電容傳感器的結(jié)構(gòu)簡單，易于制造．易于保證較高的精度；可以做的非常小巧。以實現(xiàn)某些特殊測量；出于不用有機材料和磁性材料，能承受很大的溫度變化和各種輻射及強磁場作用，可以在惡劣環(huán)境中工作；也可以在許多各向同性電介質(zhì)液體中上作。
電容式傳感器動態(tài)響應(yīng)好。電容式傳感器極板間的靜電引力很小，有電磁學(xué)理論我們知道，當帶電極板的電位不變時，極板間的靜電引力可以直接得出結(jié)果。該傳感器還可以實現(xiàn)非接觸測量，具有平均效應(yīng)。例如利用電容式傳感器非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的震動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應(yīng)?？梢詼p少工件表面粗糙度等對測量的影響。
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