中國電科承擔(dān)的國家重大科技專項——極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題之一的300mm多線切割機近日研制成功。該設(shè)備研制成功，打破了國內(nèi)生產(chǎn)線上運行的12英寸多線切割機全部為進口設(shè)備現(xiàn)狀。該設(shè)備具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)。目前，中國電科已經(jīng)初步形成了601太陽能多線切割機、300mm多線切割機等系列化的多線切割設(shè)備，占據(jù)了國內(nèi)線切割技術(shù)的制高點，滿足了不同行業(yè)、不同規(guī)?？蛻舻牟煌枰?
該項目是由中國電科自行設(shè)計、配套，克服了斷線、移動臂移動失位、鋼絲帶不進砂漿等實際問題，一次性切割出400多片滿足生產(chǎn)線要求的12英寸硅片。
300mm多線切割機技術(shù)可應(yīng)用到太陽能電池行業(yè)，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000—6000片。目前，中國電科已與全球最大的太陽能硅片企業(yè)簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，進行大線鋸的研發(fā)，2011年6月前后完成商業(yè)機型的生產(chǎn)線工藝驗收。
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