北京時(shí)間2021年12月8日，泛林集團(tuán)(納斯達(dá)克股票代碼：LRCX)在加利福尼亞州弗里蒙特市發(fā)布新產(chǎn)品Syndion? GP，為芯片制造商提供深硅刻蝕技術(shù)，以開(kāi)發(fā)新一代用于汽車(chē)、電力傳輸和能源行業(yè)的功率器件及電源管理集成電路。
隨著上述領(lǐng)域的技術(shù)日趨先進(jìn)，對(duì)芯片更高功率、更優(yōu)性能和更大容量的需求日益提高，這要求進(jìn)一步提升更高深寬比結(jié)構(gòu)的跨晶圓均勻性。這些完善通過(guò)采用先進(jìn)的器件結(jié)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)，無(wú)需犧牲外形因素。為此，器件制造商需要具備極其精確且均勻的深硅刻蝕工藝。
Syndion GP的問(wèn)世正是為了支持這種精密制造工藝。它可以配置于200mm和300mm晶圓的制造器件上，簡(jiǎn)化過(guò)渡路徑從而提升容量。目前，許多功率器件都選用直徑200mm的硅晶圓;不過(guò)為了滿(mǎn)足不斷增長(zhǎng)的需求，生產(chǎn)正在逐步轉(zhuǎn)移至300mm晶圓。
Syndion GP解決方案基于泛林集團(tuán)行業(yè)領(lǐng)先的深硅刻蝕技術(shù)，并衍生出一系列特種技術(shù)產(chǎn)品。特種技術(shù)產(chǎn)品是指功率器件、微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)、模擬和混合信號(hào)半導(dǎo)體、射頻IC (RF)解決方案、光電器件和CMOS圖像傳感器 (CIS)，這些產(chǎn)品都支持包括電動(dòng)汽車(chē)、物聯(lián)網(wǎng)和5G在內(nèi)的消費(fèi)和工業(yè)技術(shù)以及應(yīng)用。
泛林集團(tuán)客戶(hù)支持事業(yè)部及全球運(yùn)營(yíng)執(zhí)行副總裁Pat Lord表示：“如今，對(duì)特種器件的需求持續(xù)快速增長(zhǎng)。通過(guò)與客戶(hù)的密切合作，我們發(fā)現(xiàn)，客戶(hù)需要加速使用300mm晶圓來(lái)制造先進(jìn)功率器件的路徑。Syndion GP可以滿(mǎn)足芯片制造商不斷增長(zhǎng)的需求，同時(shí)支持特種技術(shù)突破帶來(lái)的持續(xù)創(chuàng)新。”
泛林集團(tuán)的深硅刻蝕產(chǎn)品組合包括經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證的200mm DSiE?平臺(tái)和市場(chǎng)領(lǐng)先的300mm Syndion GS，用于封裝、混合存儲(chǔ)器和CMOS圖像傳感器市場(chǎng)，而Syndion GP的出現(xiàn)讓整個(gè)產(chǎn)品系列更加豐富。Syndion GP擁有一定的靈活性，可滿(mǎn)足大批量制造工藝所需要的精度控制和產(chǎn)量提升，體現(xiàn)了為解決新一代器件挑戰(zhàn)所必需的多樣化深硅刻蝕解決方案。
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